經(jīng)濟(jì)型工業(yè)微波設(shè)備發(fā)現(xiàn)原煤中的硫以黃鐵礦的形式出現(xiàn)，黃鐵礦比煤有更加高的損耗角正切，所以利用微波可以使黃鐵礦得到選擇性加熱和氣體發(fā)生反應(yīng)，進(jìn)行脫硫。而煤不會(huì)不會(huì)受到任何影響。理想的方法是以持續(xù)時(shí)間為0.1秒的脈沖波進(jìn)行間歇式的加熱，將黃鐵礦石加熱到650℃高溫。這種方法去硫效果好，不用昂貴的催化劑，節(jié)省了資金，能源效率高，環(huán)境污染小。半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中已經(jīng)采用微波等離子體技術(shù)，進(jìn)行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片；還可用于金屬、合金、非金屬的表面處理；用于等離子體光譜分析可檢測(cè)十幾種元素。